MerlinEM

MerlinEM

英国Quantum Detectors Ltd社製MerlinEM Direct Electron Detector (DED)は、透過(走査)電子顕微鏡用に開発されたFPD(fast pixelated detector)といわれるタイプの検出器です。TEM像を直接記録するだけではなく、STEMモードでの明視野像、暗視野像に加えて、各プローブ位置ごとの回折図形を記録する4D STEMやその干渉像を記録するタイコゴラフィー、Scanning PED(precession electron diffraction)などのアプリケーションに最適なピクセル形式の検出器です。

各センサーピクセルは、インテリジェントチップに個別にバンプボンディングされており、しきい値識別器を用いてバックグラウンド信号を識別し、読み出しノイズを効果的に除去します。これにより、複数の短時間露光画像を取得して合計するインテグラルモードイメージングが可能になります。また、隣接する画素間で通信を行うことで電荷共有の影響を緩和し、電子の直接検出と組み合わせることで性能を向上させています。

特長

・直接検出
単一電子イベントのノイズレス読み出し
・ダイナミックレンジ
最大読み出しカウント24bit、デッドタイムなしでの読み出しカウント12bit
・1から24ビットの読み出し階調と様々な読み出し速度の組み合わせが選択可能

仕様

・センサー:シリコン(500 µm)
・センサータイプ:逆バイアスハイブリッドシリコンダイオードアレイ
・ピクセルサイズ:55 µm x 55 µm
・有効面積:14 mm x 14 mm、または28 mm x 28 mm
・ピクセル:256 x 256(Single)または512 x 512(Quad)
・読み出しノイズ:0(しきい値設定による)
・DQE@60keV(検出量子効率):1(ゼロ周波数)、0.45(Nyquist)
・MTF@60keV:> 0.62(Nyquist)(モードによって異なります)
・最大フレームレート(連続):1825 fps(12ビット)
・ギャップ時間(連続):0 µs
・最大ダイナミックレンジ:24ビット(ピクセルあたり最大16,777,216カウント)
・トリガー:3.3 / 5 V TTLパルスまたはソフトウェアトリガー
・通信:最大10 mのVHDCIケーブル。 TCP / IPプロトコル
・加速電圧範囲:30 keV – 300 keV
・ソフトウェア:LabviewおよびTCP / IPプロトコル
・マウント:ビューポート上、もしくはボトムマウント(格納式)、電子顕微鏡の仕様により取り付け方法は異なります。

Applications

Application Notes